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I目前的Intel10及Intel7工艺都没有使用EUV光刻机

时间:2022-06-23 11:12:12 来源:快科技
导读 与台积电、三星相比,Intel在EUV光刻机上跟进的较晚,但是今年也要追上来了,有分析称Intel已经有10到·12台EUV光刻机,明年的14代酷睿将首...

与台积电、三星相比,Intel在EUV光刻机上跟进的较晚,但是今年也要追上来了,有分析称Intel已经有10到·12台EUV光刻机,明年的14代酷睿将首发Intel4EUV工艺。

EUV光刻机是目前半导体生产中最先进也是最复杂的装备,售价约合10亿一台,只有荷兰ASML公司能够生产,虽然客户也只有Intel、台积电、三星这三家,但现在还是供不应求,去年生产了55台,预计2025年产能提升到每年90台。

尽管价值不菲,但是EUV光刻机不仅能够制造先进工艺芯片,同时还能减少工艺步骤,降低复杂度,意味着芯片成本更低,产能更大,在5nm之后的工艺生产中极为重要。

I目前的Intel10及Intel7工艺都没有使用EUV光刻机,Intel会在Intel4工艺上首发EUV工艺,首款处理器是14代酷睿MeteorLake,2023年上市,而且也是Intel首款采用3D封装的桌面处理器。

14代酷睿的进度要取决于Intel的EUV工艺进展,有爆料称Intel目前大约有10-12台EUV光刻机,现在主要在俄勒冈州的D1X晶圆厂及研发中心,这也是Intel最早量产Intel4EUV工艺的工厂,再往后是位于爱尔兰的晶圆厂,后面也会量产Intel4工艺。

虽然10-12台EUV光刻机听着不多,但是实际的产能不小,EUV光刻机每小时处理的晶圆数在160-220个左右,平均200个来算,一年中24小时不停生产就有170万晶圆,足够生产数千万芯片,10台以上的总量足够Intel生产未来的处理器了。

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